誠南工業株式会社は真空装置の設計製作を行っております。
誠南工業株式会社では御客様の研究内容などに合わせ、
マグネトロンスパッタリングソースを設計・製作致しております。
マグネトロンスパッタリングソースを設計・製作致しております。
マグネトロンスパッタリングソース SP-2
●特徴・高真空もしくは超高真空にて使用できます。・強磁性体での使用が可能です。 ・ターゲット及びバッキングプレートの特殊な加工が不 要です。 ・DC及びRFで使用できます。 ・ターゲットサイズ(2"仕様, 4"仕様)。 ●カタログ(マグネトロンスパッタリングソース)  |
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| ◆仕様 ●オペレーション仕様 ●取付 最大入力DC 800W 外径 φ87㎜ 最大入力RF 400W 垂直寸法 124㎜ 解放電流 2A以下 本体 φ19㎜パイプ 操作圧力 0.15~5Pa 冷却水 1/4チューブ ●ターゲット形状 出力コネクタDC Tyoe N 基本形状 円板 出力コネクタRF Tyoe N 外径 2" 出力ケーブルDC RG393 厚み(非磁性) 3・6㎜ 出力ケーブルRF RG393 厚み(磁性) １㎜(Fe) ベーキング温度 85° ●マグネット ●冷却方法 材質 NdFeB 流量 3L/min 相対配置 アンバランス 温度 20℃以下 圧力 0.3MPa以下 |
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| ◆データ ●条件 ・Cuﾀｰｹﾞｯﾄ ・電力＝200W ・成膜時間＝20min ・Ar＝0.6Pa ・T-S距離＝100㎜ ・基板回転無し ●均一性 Offset19㎜：±10％ ●成膜レート 54nm/min |
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| ◆オプション 取り付けポートのサイズに合わせて取付フランジを設計・製作致します。 ●φ152ICFフランジ ●スパッタ源152ICFフランジ付 |
誠南工業株式会社
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